Rheoli Halogiad Olion Mewn Rhwydweithiau Hylif Lled-ddargludyddion Er mwyn Gwella Cynnyrch Wafferi

Ymarfer rheoli gronynnau i raddau helaeth yw peirianneg cnwd mewn ffabrig lled-ddargludyddion modern. Wrth i geometregau transistor grebachu tuag at drothwy is-tri-nanomedr, nid halogion lefel macro traddodiadol yw'r unig fygythiad bellach. Mae amrywiadau microsgopig mewn purdeb cemegol, mân amrywiadau pwysau, ac ïonau metelaidd olrhain yn y ffrwd broses bellach yn achosi methiannau sglodion trychinebus yn uniongyrchol.

Er bod paramedrau offer fel dwysedd plasma a ffocws laser yn cael y rhan fwyaf o'r sylw, y seilwaith ffisegol sy'n cludo cemegau, toddyddion, a dŵr pur iawn i'r fainc wlyb yn aml yw lle mae colled cynnyrch yn digwydd mewn gwirionedd.

 

 

Lled-ddargludydd

 

Dosbarthiad Diffyg Proses ac Achosion Gwraidd y Cyfnod-Cam

Mae diffygion a ganfyddir yn ystod arolygiad mewnol yn cael eu dosbarthu'n gyffredinol naill ai fel anomaleddau deunydd cynhenid ​​neu halogiad arwyneb a achosir gan broses. Mae diffygion dellt, gan gynnwys swyddi gwag a dadleoliadau, fel arfer yn olrhain yn ôl i dyfiant cychwynnol yr ingot. Ar y llaw arall, mae siorts pontio, diffygion crisial patrymog, a dadansoddiad giât ocsid bron bob amser yn cael eu cyflwyno yn ystod lithograffeg, stripio, ysgythru, neu gynllunreiddiad mecanyddol cemegol.

Yn ystod y camau cemeg gwlyb hyn, mae'r wyneb wafer silicon yn adweithiol iawn ac yn agored i unrhyw fater tramor sydd wedi'i atal yn y cemegau proses. Os yw llinell ddosbarthu yn cyflwyno gronynnau is-micron, mae'r grawn hyn yn lletya rhwng llinellau metel mân yn ystod dyddodiad, gan greu byr trydanol ar unwaith.

Mae halogiad cemegol hyd yn oed yn fwy llechwraidd. Gall ïonau metel trwm fel haearn, copr, neu gromiwm dryledu'n syth i'r dellt grisial silicon, gan greu trapiau lefel dwfn sy'n achosi cerrynt gollwng wrth gefn uchel. Mae hyn yn arwain at ddiffygion cudd lle mae'r sglodyn yn pasio profion parametrig cychwynnol ond yn methu'n gynamserol ar ôl ei ddefnyddio mewn gweinyddwyr neu gerbydau.

Mae'r matrics canlynol yn cysylltu'r methiannau strwythurol lefel micro hyn yn uniongyrchol â gwendidau penodol yn y gwaith plymio dosbarthu hylif.

 

Tabl 1: Mathau o Ddiffygion Lled-ddargludyddion ac Effaith Rheoli Hylif

 

Categori Diffyg	Amlygiad Microsgopig	Achos Gwraidd y Broses Sylfaenol	Ateb Isadeiledd Hylif
Diffygion Pwynt	Amhureddau metelaidd tramor wedi'u hymgorffori yn y dellt grisial silicon.	Halogiad cemegol o drwytholchi waliau pibellau neu ansawdd aloi gwael.	Defnyddio cydrannau -purdeb uchel gydag ardystiad deunydd llym.
Proses{0}}Gronynnau Anwythol	Pontydd wyneb yn achosi cylchedau byr rhwng llinellau dargludol cyfochrog.	Darnau microsgopig a gynhyrchir gan draul cydrannau neu ollyngiadau aer allanol.	Gosod Ffitiadau Camlock -goddefgarwch uchel i gynnal amgylchedd wedi'i selio.
Diffygion Cyfaint a Haen	Dilaminiad lleol, trwch ffilm anwastad, neu amrywiadau ysgythru.	Ymchwyddiadau pwysau a phatrymau llif cythryblus wrth gyflenwi cemegau.	Integreiddio-Falfiau Glanweithdra wedi'u peiriannu yn fanwl i sicrhau llif rhydd llinol, dirgrynol.

 

Rheoli Uniondeb ar y Cyd mewn Cyflenwi Cemegol Swmp

Mae systemau dosbarthu cemegol swmp a sgidiau cymysgu cemegol yn trin asidau ymosodol a slyri sgraffiniol bob dydd. Mae'r systemau hyn yn gofyn am gyfnewid cynwysyddion yn rheolaidd, glanhau llinellau, a gosod hidlyddion newydd. Bob tro mae cysylltiad yn cael ei agor ar gyfer cynnal a chadw, mae'r ddolen hylif gyfan yn agored i risgiau allanol, gan gynnwys lleithder amgylchynol, aer ystafell lân, a gwall dynol.

Er mwyn cadw amser segur offer yn isel yn ystod y newidiadau cemegol hyn, mae cyfleusterau'n dibynnu ar-gyplyddion datgysylltu cyflym. Pennu cadarnFfitiadau Camlockyn caniatáu i dechnegwyr gloi a datgloi llinellau cyflenwi yn gyflym, gan leihau'r amser y mae'r plymio mewnol yn agored i aer. Fodd bynnag, mae cyplyddion gradd masnachol safonol yn aml yn cynnwys diffygion castio, ysgwyddau mewnol miniog, neu agennau dwfn ger sedd y gasged.

Mae'r ardaloedd hyn sydd wedi'u peiriannu'n wael yn gweithredu fel coesau marw lle mae cemegau llonydd yn cronni, yn crisialu neu'n diraddio. Pan fydd cemegol ffres yn llifo trwy'r llinell, mae'n torri'r talpiau crisialog hyn yn rhydd, gan eu troi'n ronynnau lladd sy'n osgoi hidlo ac yn glanio ar y wafer.

Mae ffitiad mecanyddol ar y cyd hefyd yn pennu a yw cavitation yn digwydd. Pan fydd hylif cyflymder uchel yn mynd trwy gymal heb ei alinio neu wedi'i gyplysu'n llac, mae'r cyflymder lleol yn cynyddu ac yn gostwng y pwysedd hylif o dan ei bwynt anwedd. Mae hyn yn cynhyrchu swigod micro anwedd sy'n cwympo'n dreisgar pan fydd pwysau'n adfer i lawr yr afon.

Mae'r siocdonnau o'r micro{0}}cavitation hwn yn erydu waliau mewnol y plymio i lawr yr afon, gan dynnu haenau goddefol i ffwrdd a chynhyrchu naddion dur gwrthstaen. -Goddefgarwch uchel Mae Camlock Fittings yn nodweddu tu mewn diflas sy'n alinio'n berffaith â diamedr mewnol y bibell, gan gynnal proffil cyflymder llyfn ac atal cavitation cyn iddo ddechrau.

 

LEADTEK Camlock A

 

Atal Dal Gronynnau a Sioc Cneifio mewn Falfiau

Mae ffitiadau yn sefydlu fframwaith y biblinell, ond mae falfiau'n delio â'r gwaith deinamig o sbarduno, ynysu a chyfeirio llif. Mae falfiau diwydiannol safonol yn ffynhonnell fawr o golled cynnyrch oherwydd bod eu ceudodau mewnol yn caniatáu i ronynnau setlo. Mae slyri CMP, sy'n cynnwys gronynnau sgraffiniol crog fel silica neu alwmina, yn arbennig o dueddol o ollwng pan fydd cyflymder llif yn gostwng y tu mewn i gorff falf. Pan fydd y falf yn actio, mae'r gwaddodion llawn hyn yn cael eu cywasgu, eu cneifio a'u fflysio i mewn i'r offeryn proses fel crynoadau mawr sy'n crafu wyneb y wafer.

I ddileu'r parthau marw hyn, mae llinellau proses purdeb uchel yn defnyddio electropolishedFalfiau Glanweithdramewn dolenni llif critigol. Mae'r falfiau hyn wedi'u hadeiladu gyda chynlluniau mewnol sero ac arwynebau mewnol hynod esmwyth i sicrhau bod cyflymder hylif yn aros yn gyson drwy'r corff falf cyfan.

Mae'r gorffeniad drych yn dileu'r pwyntiau angori microsgopig lle gall bacteria, polymerau, neu ronynnau slyri gadw at y waliau. Yn ystod cylchredau glanhau safonol-yn-lle{-dŵr{-, mae'r hylif glanhau yn clirio'r cyfaint mewnol cyfan, gan adael dim gweddillion ar ôl i halogi'r swp cemegol nesaf.

Y tu hwnt i reolaeth gronynnau, rhaid i falf weithredu heb darfu ar bwysau llinell. Yn ystod ysgythriad manwl neu ddyddodiad anwedd cemegol, rhaid i gyflenwad hylif fod yn llyfn ac yn llinellol. Os yw coesyn falf yn sgwrsio neu'n achosi effaith morthwyl hydrolig wrth gau, mae'r don bwysau sy'n deillio o hyn yn teithio i lawr y llinell ac yn dirgrynu'r nozzles chwistrellu y tu mewn i'r siambr broses.

Mae'r mân ddirgryniad ffisegol hwn yn tarfu ar yr haen ffin hylif ar y wafer nyddu, gan achosi trwch ffilm anwastad neu dros-ysgythru lleol. Mae cydrannau rheoli llif uwch yn defnyddio geometregau mewnol cytbwys i ddosbarthu pwysedd hylif yn gyfartal, gan sicrhau gweithrediad llyfn a phwysau sefydlog i lawr yr afon.

Mae'r matrics cydran isod yn manylu ar sut mae dewis y fformat caledwedd cywir yn cywiro'r dulliau methiant piblinell penodol hyn.

 

Tabl 2: Matrics Dewis Cydran Hylif

 

Math o Gydran	Prif Swyddogaeth	Budd Craidd
Ffitiadau Camlock	Cysylltiad plymio cyflym, diogel	Yn atal marweidd-dra hylif a gollyngiadau allanol
Falfiau Glanweithdra	Rheoleiddio llif pur iawn	Yn dileu croniad gronynnau mewnol

 

Profi Meteleg a Leach fel Meincnodau Ansawdd

Cydweddoldeb cemegol y system meteleg yw'r amddiffyniad terfynol yn erbyn halogiad ïonig hybrin. Mae graddau safonol o ddur di-staen yn aml yn cynnwys micro-gynhwysiant manganîs sylffid, carbon, neu silicon. Pan fyddant yn agored i gemegau cyrydol iawn fel asid ffosfforig poeth neu hydrogen perocsid, mae'r cynhwysion arwyneb hyn yn hydoddi, gan amlygu ffiniau grawn amrwd y dur i ymosodiad cemegol parhaus. Mae'r broses trwytholchi hon yn rhyddhau ïonau metel rhydd yn uniongyrchol i'r llif cemegol, sy'n difetha perfformiad y transistor os ydynt yn cyrraedd yr wyneb silicon.

Mae atal y math hwn o ddiraddio deunydd yn gofyn am reolaeth ansawdd llym yn ystod y camau castio a pheiriannu. Rhaid i gydrannau purdeb uchel fynd trwy wiriad deunydd trwyadl, gan gynnwys sbectrosgopeg allyriadau optegol ar gyfer cyfansoddiad aloi a phrofion ultrasonic i ddal gwagleoedd o dan yr wyneb.

Mae gorfodi'r safonau gweithgynhyrchu llym hyn yn gwarantu y gall yr offer drin amlygiad parhaus i gyfryngau cyrydol dros gylchoedd bywyd hir heb daflu ïonau metelaidd na chyfrannu at halogiad prosesau.

 

Integreiddio Systemau Hylif i Strategaethau Cynnyrch

Ni all rheoli halogiad gael ei drin yn unig trwy hidlo aer ystafell lân neu offeryn-optimeiddio rysáit lefel. Mae angen edrych yn gynhwysfawr ar y rhwydwaith cyflenwi hylif cyfan er mwyn lleihau gwir ddiffygion. Bydd un is-falf wedi'i optimeiddio neu uniad pibellau rhydd yn negyddu gwaith unedau hidlo drud i lawr yr afon.

Mae uwchraddio i systemau cysylltu manwl iawn a chydrannau rheoli llif caboledig iawn yn caniatáu i ffabrigau wafferi gael gwared ar y newidynnau materol a mecanyddol sy'n achosi diffygion wafferi. Mae defnyddio uniadau hylif dibynadwy ochr yn ochr â falfiau arbenigol yn creu amgylchedd cemegol sefydlog, glân ac ailadroddadwy. Mewn diwydiant lle gall un gronyn is-micron droi microsglodyn ymyl uchel yn sgrap, mae'r caledwedd sy'n cludo'r hylif wedi'i gysylltu'n uniongyrchol â llinell waelod y ffatri.